洁净室排风与废气处理系统的试运转和调试,应由施工单位负责,无尘车间洁净工程,建设单位、监理单位等参加。
洁净室排风系统的联动试运转和调试前,应具备下列条件:
(1)系统内各种设备已进行单机试车,无尘车间,并验收合格;
(2) 洁净室(区)的装饰装修和各类配管配线量完成,并通过单项验收;
(3)洁净室(区)内已进行清洁擦拭,人员、物料的进出已按洁净程序进行。
洁净厂房也叫无尘车间、洁净室。洁净车间,无尘车间设计,亦称洁净室、无尘车间、无尘室或清净室。
洁净厂房装饰装修工程进行施工详图设计时,应包括主要内容:
(1) 室内装饰装修技术要求;
(2)吊顶、墙体用金属壁板模数选择;
(3) 吊顶、隔墙、门窗、送回风口、灯具、报警器、设备留洞、管线留洞、特殊留洞等设施的综合布置和气密性节点图;
(4) 门窗构造和节点图、金属壁板安装节点图。
洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业(如陀螺仪、微型轴承等加工)、半导体工业(如---集成电路生产)等对环境的要求,促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过,在无洁净级别的要求的环境下生产mos电路管芯的合格率仅10%~15%,64位储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。
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