承担洁净室及相关受控环境(以下简称洁净室)施工的单位应按照本规范的相关规定,建立管理体系。
施工单位应编制施工组织设计,无尘车间洁净工程,并应根据本规范附录a的内容,制定具体工程的施工程序,按程序对施工全过程实行控制。
施工过程中,严禁违反设计文件擅自改动系统、参数、设备选型、配套设施和主要使用功能。严禁不执行本规范强制条文的规定。当修改设计时,应经原设计单位确认、签字,并得到建设单位的同意,在通知监理方之后执行。
洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高的级别的洁净室。例如,无尘车间,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型,从而实现“隧道”部分达到5级以上洁净度,工作台就设在“隧道内”。
洁净室要达到洁净等级,必须有综合措施,无尘车间施工,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。
洁净技术
玷污物的污染包含对产品的损害和对人的危害。污染包含直接污染和交叉污染。人是污染源的发源地:---时,人体每分钟散发10万个粒子(粒***0.5μm);每天脱落6~13克表皮细胞,一年脱落人体细胞约3.5公斤。半导体洁净室内微污染来源,经测试,作业人员占80% 。十万级---洁净车间对不同的对象,有不同的玷污物控制要求。
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